| 品牌：Diener | 是否支持加工定制：否 | 腔室容积：1.7 - 2.6 升可选 |
| 供电电源：220 V | 气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC) | 产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃 |
| 控制系统：手动、Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE) | 压力测量：Pirani | 计时器：数字 、模拟 |
| 电极：单层或多层 |
技术数据
2.6 升的 Low Cost 等离子体实验室设备 ZEPTO 配有手动型 和 Basic PC 控制系统，主要用于以下领域:
小批量生产, 分析 (REM, TEM), 医疗技术, 灭菌, 研究和开发部门, 考古, 纺织技术, 塑料技术
1.基本装备：
根据组件/选装件，外壳规格会有所不同
腔室容积：根据具体版本 1.7 - 2.6 升
供电电源：230 V
2.气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)
3.真空腔室
带盖圆形硼硅玻璃 (UHP)（大约 105 mm，长 200 mm 或长 300 mm）
W6（约 160 mm，长 180mm）
4.装载件
产品支架：铝板、不锈钢板、硼硅玻璃
5.电极：
单层或多层
真空腔室外部的一对电极
6.控制系统：手动、Basic PC 控制系统 (Microsoft Windows CE)
7.压力测量：Pirani
8.计时器：数字 、模拟
9.发生器：
频率：
40 kHz：功率 0 - 100 W
13.56 MHz：功率 0 - 200 W
