品牌:Neutronix-Quintel | 是否进口:是 | 型号:NXQ4006 |
重量:217Kg | 外形尺寸:1220mm x 915mm x 1423mmmm | 是否支持加工定制:否 |
真空:-0.7 bar (21” Hg) | Voltage:240VAC 50Hz | Compressed Air:5.4 bar (80 PSI) |
Nitrogen (or CDA):3 bar (40 PSI) | 紫外灯:350/500W or 500/1KW | Mask Size:3”x3” up to 9”x9” |
1.光刻机主机
1.1具有稳定可靠的芯片厚度补偿系统;
1.2 PLC控制系统,可进行工艺参数的编程,操作便捷;
▲1.3具有自动执行楔形误差补偿,并在找平后自动定位功能;
1.4采用LED穿透物镜照明技术,具有***对准亮度;
1.5配套集成式防震台;
-LED紫外线灯罩
-曝光波长365405435nm
-LED寿命长,无需维护
-恒定强度,无需每天调整
-即时开启-不使用时无需开启
-低功耗
-闭环液体冷却系统
-具有MS Windows界面的基于PC的控件
-基于Windows 10的菜单驱动图形用户界面
-配方设置功率电平
-g、h和i线紫外线强度的独立控制
-配方设置从20%到***输出
-365时可编程范围为6mw-30mw/cm2
-405时可编程范围为15mw-75mw/cm2