是否进口:否 | 加工定制:否 | 品牌:nTact |
型号:nRad |
高效的材料利用率和最少的浪费
基于槽模的沉积技术
涂布厚度范围:从20nm到100μm
均匀度为 ±3%,
效***/材料利用***:材料利用率可达95%
从研发到小批量试制、大量生产满足不同需求
支持各种基材(刚性或柔韧性、玻璃、塑料、金属箔、硅片)
适用于各种应用(平板显示器、触摸屏、光伏(薄膜和硅)、柔性电子产品、光学薄膜)
选项:
完全大气或惰性隔离,可在低氧/低湿环境下进行处理
真空吸盘可用于各种基板,包括显示器玻璃和柔性塑料薄膜以及硅pv晶片
工艺材料和基材的独立温度控制
槽模由各种合金制成,用于腐蚀性材料的加工
用于机器人装载/卸载的基板提升机构
参数
基板尺寸:标准150mm 值210-300mm 150或200mm晶圆选项
基板类型:玻璃、塑料、金属箔、硅片 刚性或柔韧性
涂层厚度范围:20nm to 100um
涂层均匀性:对于超过150nm的薄膜,±3%或更好,对于50和150nm的薄膜,±5%或更好
涂料粘度范围:标准1至70 cp
系统尺寸: L: 911mm w: 578mm h:645mm 170千克/ 380ibs