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  • 主营产品: 匀胶机 等离子清洗机 湿法刻蚀显影机 热压机
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纳米狭缝涂布机
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纳米狭缝涂布机

“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端***制造业项目,其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上***涂布制备功能纳米、微米薄膜,在许多光电领域,如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等,有着非常广泛的应用。

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    湖北 武汉 洪山区 珞狮南路147号未来城
是否进口:否加工定制:否品牌:nTact
型号:nRad

纳米狭缝涂布机详细介绍

高效的材料利用率和最少的浪费

基于槽模的沉积技术

涂布厚度范围:从20nm100μm

均匀度为 ±3%,

效***/材料利用***:材料利用率可达95%

从研发到小批量试制、大量生产满足不同需求

支持各种基材(刚性或柔韧性、玻璃、塑料、金属箔、硅片)

适用于各种应用(平板显示器、触摸屏、光伏(薄膜和硅)、柔性电子产品、光学薄膜)


选项:

完全大气或惰性隔离,可在低氧/低湿环境下进行处理

真空吸盘可用于各种基板,包括显示器玻璃和柔性塑料薄膜以及硅pv晶片

工艺材料和基材的独立温度控制

槽模由各种合金制成,用于腐蚀性材料的加工

用于机器人装载/卸载的基板提升机构

 

参数

  基板尺寸:标准150mm  210-300mm   150200mm晶圆选项

基板类型:玻璃、塑料、金属箔、硅片 刚性或柔韧性

涂层厚度范围:20nm to 100um

涂层均匀性:对于超过150nm的薄膜,±3%或更好,对于50150nm的薄膜,±5%或更好

涂料粘度范围:标准170 cp

系统尺寸:  L: 911mm    w: 578mm   h:645mm   170千克/ 380ibs

 


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