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  • 主营产品: 匀胶机 等离子清洗机 湿法刻蚀显影机 热压机
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Jetstar系列高温退火炉
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Jetstar系列高温退火炉

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    湖北 武汉 洪山区 珞狮南路147号未来城
是否进口:否加工定制:否品牌:法国semco
型号:Jetstar

Jetstar系列高温退火炉详细介绍

适用于科研及生产线;

基片从上面载入/取出;

可支持的尺寸:直径为300mm的基片或者300mm×300mm的基片;

温度高达1200摄氏度;

升温速率为40K/sec;

降温速率分段控制:从1000℃到400℃,降温速率优于200K/sec。从400℃到100℃降温速率控制在30K/sec;

PID处理控制器,程序段***制,每程序段50步,带USB2.0的接口。包含UniSoft 软件,与微软Windows操作系统兼容。通过该软件,通过链接电脑可以非常方便地实现程序编辑以及数据记录。


不锈钢冷腔室壁优点

工艺重复性高;

高冷却速率,低记忆效应;

高温计和热电偶控制;

快速数字PID温度控制器;

超清洁***的环境;

无金属和无交叉污染


应用范围:

离子注入/接触退火;

快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

SiAu,SiAl,SiMo等炼制合金;

低K电介质;

后植入退火处理;

铜浆烧制;

电阻浆料烧制;

太阳能电池晶片键合工艺;

LTO钛酸锂材料制备;

晶体化,致密化;


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