品牌:英国Quorum | 发货地:武汉 | 型号:SC7620 |
产地:英国(***) | 起订量:1套起批 | Q150V应用:高真空应用 |
Q150T Plus应用:SEM,TEM和许多薄膜应用 | Q150R Plus应用:使用非氧化性金属的W-SEM溅射应用 | Q300T T Plus应用:较大的样品 |
Q300T D Plus应用:薄膜应用 | SC7620应用:范围更广,入门级SEM溅射镀膜机 |
直径100毫米/ 4英寸的耐热玻璃圆柱体安装在铝制轴环上,并用O型圈密封。较小的真空室尺寸意味着抽气时间和循环时间都很快,并且还允许使用小型经济型旋转泵。样品台是可调节高度的,可以很容易地卸下以容纳更高的样品。沉积速率由分辨率为15秒的180秒计时器手动控制。压力和等离子电流由模拟仪表监控。
SC7620将沉积适用于钨丝SEM的涂料,并且具有操作简单,确保可靠性和适用于一般用途的优点。可以通过添加可选的碳蒸发附件将其快速转换为沉积碳,该附件包括可切换的电压电源和碳纤维头。
Q150V Plus适用于高真空应用中的超细涂层
Q150V Plus针对高真空应用进行了优化,极限真空度为1x10-6mbar。结合使用宽范围的Penning / Pirani量规,可以溅射具有超细晶粒尺寸的氧化金属,适用于高分辨率成像。较低的压力从腔室中除去了氧气和水蒸气,避免了溅射过程中的化学反应,否则可能导致涂层中的杂质或缺陷。类似地,较低的散射允许高密度的高纯度无定形碳膜。Q150V Plus具有Q150T Plus的所有优点,但具有更细的晶粒尺寸和更薄的涂层,适用于超高分辨率应用(放大倍数200,000)。
Q150R Plus-旋转泵式涂布机
Q150R Plus适用于Tungsten / LaB6 SEM和台式SEM。
Q150R Plus提供三种格式:
溅射(Q150R Plus S)
碳纤维蒸发(Q150R Plus E)
溅射和碳线蒸发(Q150R Plus ES)
Q150T Plus-涡轮分子泵镀膜机
Q150T Plus经过优化,可与涡轮分子泵配合使用,从而将真空度降低至5 x 10-5 mbar。
Q150T Plus提供三种格式:
用于非氧化性金属的自动溅射镀膜机(Q150T S Plus)
用于SEM应用(Q150T E Plus)的自动碳涂层机(棒/绳)
能够同时进行溅射和碳涂层的组合系统(Q150T ES Plus)
Q150 GB涡轮泵溅射镀膜机/手套箱用碳镀膜机
Q150GB是市场***的Q150T ES台式涡轮分子泵涂层系统的模块化手套箱版本, 适用于SEM,TEM和许多薄膜应用。Q150 GB标配溅射和碳棒蒸发插件以及旋转样品台。选件包括金属蒸发,辉光放电,膜厚测量和特殊的载物台,以适应各种样品类型
Q300T D Plus-双靶连续溅射,适用于直径为150 mm的样品
Q300T D Plus适用于两种材料的多层顺序溅射,具有两个独立的溅射头,可以连续溅射两种金属而无需破坏真空。该系统是完全自动化的,具有用户定义的配方,可控制泵送顺序,时间,溅射周期数以及过程中使用的电流。通过在两个靶材之间循环,可以依次溅射两种靶材厚度不限的***层。不使用时,将目标物关闭以防污染。
Q300T T Plus-三靶溅射镀膜机,用于直径200mm的样品
Q300T T Plus是一个大室,涡轮泵送涂层系统,非常适合溅射8“ / 200mm的单个大直径样品或类似直径的多个较小的样品。非常适合薄膜应用和SEM / FE- SEM。它配有三个溅射头,以确保单个大样品或多个样品的均匀沉积
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