| 是否进口：是 | 加工定制：否 | 品牌：V3 |
| 型号：LCS |
LCS专为晶圆和平面基片的半自动旋涂和开发而设计，将是试点项目、研究所和研发的选择。 它***了高均匀性和可重复性以及简单的操作和维护。 它可以处理 150 毫米的晶圆或 125x125 毫米的方形基片。
为了与试剂等化学品相兼容，腔体材质是由 POM、阳极氧化铝、聚丙烯、不锈钢或 PTFE 制成。
旋涂工艺程序通过触摸屏进行设置。 用户可以编写多达 20 个步骤的 50 个程序段。每一步可设置不同的速度、加速度和时间参数。
选配项：
· 背面冲洗 (BSR)
· 晶圆去边 (EBR)
· 气动注射器分配系统
· 电动注射器分配系统
· 带数字仪表和压力控制的加压瓶分配系统
· 各种真空或机械托盘
· 晶圆对准工具
· 腔体材质由阳极氧化铝、聚丙烯或 PTFE 制成
特征：
· 拥有触摸屏界面
· 多达 5 条试剂管路
· 具有可编程分配高度的电动臂
· 占地面积小 600x625 毫米
· 自动透明盖
· 多种尺寸旋涂托盘
· 托盘更换快速简便
· 处理腔室易清洗
技术参数：
晶圆尺寸 | 150 mm |
基片尺寸 | 125x125 mm |
转速范围 | 0 - 10 000 rpm |
试剂管路 | 最多 5 个 |
存储的程序 | 几乎*** |
电源电压 | 230 VAC 50/60Hz 15A |
CDA 供应压力 | 4-5 bar |
CDA 连接管 | 8 mm |
排气 | 55-60 m3 |
排气接头 | 50 mm |
排水管 | 12 mm |
外形尺寸 | 600x625x1300 mm |
重量 | 130 kg |
