| 是否进口：否 | 加工定制：否 | 品牌：ＲＩＥ |
| 型号：PE-100 |
台式小型机，PLC人机自动控制，简单易用，适用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、蚀刻、活化等工艺。
提供三种功能配置：
1. 常规的等离子清洗和等离子刻蚀
2. 反应离子刻蚀（RIE）
3. 可转换结构（包含可以进行各向同性和各向异性的等离子工艺）可拆卸的托盘构造。
等离子刻蚀机技术参数：
设备型号：PE-100
腔体尺寸：长方形腔体，长度305 x深度368 x高度305mm；
腔体材质：T-6铝合金一体成型；
腔体容积：34升；
射频电源：13.56MHz；0~300W自动调节；
工作压力范围：1-2000 mT；
气体流量控制：0-50cc/min带精密针阀；
皮拉尼真空计： 0-1Torr；
